1、在設(shè)備和供電線路的周圍,絕對不能存在易燃或易爆的危險品。
2、設(shè)備線路和電器設(shè)備如果出現(xiàn)故障,對于它的維修和調(diào)整,最好找專業(yè)維修人員進行操作。
3、不可在水路不通暢的時候打開設(shè)備高壓泵和增壓泵,否則會發(fā)生暴管的情況。
4、設(shè)備內(nèi)部管道如果漏水,不可再進行操作,務(wù)必把電源切斷,再做處理。
5、開啟設(shè)備前要確保機器上的設(shè)備和元件都是干燥的。
6、半導(dǎo)體生產(chǎn)用去離子水設(shè)備高壓泵和增壓泵在沒有水的時候絕對不可運轉(zhuǎn)。
7、在原水的壓力不足的時候,不可對設(shè)備高壓泵進行強制的啟動。
8、關(guān)機的時候要注意關(guān)閉原水增壓泵前要先關(guān)閉高壓泵。
網(wǎng)站欄目:半導(dǎo)體生產(chǎn)用去離子水設(shè)備使用注意事項
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